The assessment of dielectric charging in MEMS capacitive switches is investigated. The information can be obtained only from simultaneous assessment of Metal-Insulator-Metal capacitance and MEMS capacitive switches the former allowing the determination of material properties and the latter of the device.
Τίτλος Δράσης: Ηράκλειτος ΙΙ Τίτλος Πράξης: Μελέτη και βελτιστοποίηση των ηλεκτρικών ιδιοτήτων λεπτών μονοτικών υμενίων που χρησιμοποιούνται σε μικρο-ηλεκτρικά-μηχανικά συστήματα (Mems)