gre URI http://hdl.handle.net/10795/2974 φυσικές επιστήμες ηλεκτρονική ηλεκτρολογικό υλικό ηλεκτρική ενέργεια Οι διακόπτες RF MEMS αποτελούν ιδιαίτερα υποσχόμενες διατάξεις στον τομέα των τηλεπικοινωνιών όμως προβλήματα αξιοπιστίας εμποδίζουν την εμπορευματοποίησή τους έως και σήμερα. Η παρούσα διατριβή εξετάζει ένα από τα σημαντικότερα προβλήματα αξιοπιστίας που συναντάται στους διακόπτες αυτούς, τη φόρτιση των διηλεκτρικών τους υμενίων. Τα υμένια των διακοπτών RF MEMS εναποτίθενται με σύγχρονες μεθόδους της μικροηλεκτρονικής και εμφανίζουν σημαντικό βαθμό ανομοιογένειας και απόκλιση από τη στοιχειομετρία. Στόχος της διατριβής είναι η κατανόηση των μηχανισμών πόλωσης και αποπόλωσης των διηλεκτρικών υμενίων καθώς επίσης και η μελέτη της επίδρασης των συνθηκών εναπόθεσης στα ηλεκτρικά τους χαρακτηριστικά. Το διηλεκτρικό υλικό που μελετήθηκε είναι το νιτρίδιο του πυριτίου, οι ηλεκτρικές ιδιότητες του οποίου δεν είναι ακόμη πλήρως γνωστές παρά το γεγονός ότι αποτελεί ένα από τα πιο διαδεδομένα υλικά στην μικροηλεκτρονική. 177 pp. LOMv1.0 creator LOMv1.0educational validator LOMv1.0 Scientific Coordinator LOMv1.0 Project Executing Organisation 2014 Digital Library of the Operational Programme "Education and Lifelong Learning" abstract types Text Διηλεκτρικά υμένια Μικρο-ηλεκτρικά-μηχανικά συστήματα Διακόπτες RF MEMS Προβλήματα αξιοπιστίας 3569229 application/pdf http://repository.edulll.gr/edulll/bitstream/10795/2974/2/2974_1.84_%ce%94%ce%94_11_3_14.pdf URI http://hdl.handle.net/10795/2974 LOMv1.0creator 2016-04-27T11:30:25Z LOMv1.0validator 2016-04-27T11:30:25Z LOMv1.0 gre no no Copyright EYD-EPEDBM (Operational Programme "Education and Lifelong Learning")